早在20世纪90年代，部分晶圆厂就实现了“黑灯工厂”，让半导体制造成为制造业皇冠上的明珠。其中，最重要的一环是以天车（OHT）为核心，包括存储、净化、传感控制、集群调度控制等软硬件为一体的自动物料搬运系统（AMHS），其犹如人体血管般，贯穿于半导体制造的每一个环节。但长期以来，在AMHS领域，日本的村田和大福垄断了全球超过90%的市场份额。
为了探寻中国AMHS的发展之路，近日，上证报记者来到上海临港，走进国内领先的AMHS公司弥费科技（上海）股份有限公司（简称“弥费科技”），对话公司创始人、董事长缪峰。
弥费科技的展厅内，长达2公里的高低起伏、曲折盘绕的轨道吸引了记者的注意。轨道上，几十辆小车犹如一个个小胖墩，丝滑快速地前行、转向、转换轨道，并完成晶圆盒的取放动作。更为令人惊奇的是，整套系统悬挂在天花板上。
“这个小车就是天车。天车系统不是半导体制造的核心设备，却是先进晶圆厂的关键设备。”缪峰开门见山地介绍，随着半导体晶圆厂、先进封装厂自动化程度的提升，AMHS正变得越来越重要，OHT正是其中核心设备；而另外一方面，早在2023年，日本就将部分天车零部件列入了出口管制范围。可以说，国内发展AMHS，已经到了刻不容缓的地步。
“天帆”扬起后发优势凸显
“我们刚刚发布的新一代天车系统产品天帆系列，具有更高的精度和稳定性，产品性能指标全面对齐头部供应商，部分关键指标已实现对国际同类产品的超越。”缪峰表示。
4月2日，弥费科技正式发布了自研的新一代AMHS天车系统解决方案——天帆SKYSAIL系列，通过架构、平台、车体、软件四大维度的创新设计，实现了速度、稳定性、车体轻薄、智能化等十大维度上的产品力提升，综合性能有望成为行业新标杆。
“天帆天车的直行速度是每秒5.5米，居于全行业第一；车体厚度仅有895mm，比上一代产品薄120mm，也比市面上最先进的竞品薄90mm。”缪峰介绍，天帆的发布，意味着在晶圆厂核心系统装备领域，国内设备又补齐了一块短板。作为目前国内唯一通过8英寸及12英寸晶圆厂整厂验证的AMHS全方案供应商，弥费科技已经具备了显著的后发优势。
弥费科技成立于2014年，2018年正式开启AMHS业务。至2024年底，公司连续开发了传送、存储、净化、传感控制、大规模集群调度软件等数十款软硬件产品，进入了全球近50家晶圆厂。公司也成为第一家成功验收12英寸国内晶圆厂整厂AMHS系统的本土供应商。
弥费科技为何能够做到后发先至？
“站在前辈的肩膀上，采用最新的理念、技术。”缪峰表示，不管在产品设计还是在算法方面，老牌的天车厂商都是基于规则驱动来设计产品；但进入AI时代，在大模型驱动下，叠加整厂部署的规模效应，弥费科技不再需要遵循规则路线，而是通过仿真建模等技术，快速定义产品。此外，弥费科技自研了控制器等核心零部件，并构建了完整、高效的国内供应链；同时，团队深度理解客户需求，做到了产品的快速迭代。
记者在公司一楼大厅看到，密密麻麻的知识产权证书铺满了整面墙。
缪峰介绍，公司申请及已授权知识产权270余项，其中已授权发明专利53项。公司还主导制定了中国首个半导体天车系统标准《集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求》（T/SICA 006—2024）。在海外，弥费科技已申请各类知识产权60余项，产品通过20余项国际标准认证。
海内外市场并重助力晶圆“智”造
作为半导体细分赛道的佼佼者，弥费科技已完成三轮融资，合计融资金额超过5亿元。资本助力下，公司的发展也如虎添翼。
2024年，弥费科技成功完成了国内首家12英寸晶圆厂AMHS整厂交付及使用验收，填补了国内半导体领域12英寸整厂级AMHS本土方案的空白。“现在，在国内半导体AMHS市场，弥费科技所占份额超过七成，而公司目标是进入行业的全球前三位。”缪峰表示。
如此细分的设备市场，能否撑起公司的大未来？
缪峰介绍，随着半导体制造工艺升级、12英寸晶圆产能提升以及工厂自动化需求增加，AMHS市场呈现出更快的增长趋势。全球来看，2022年全球半导体AMHS市场规模约为32亿美元，预计到2025年将增长至37亿美元；中国市场方面，2022年中国半导体AMHS市场规模约为7亿美元，预计2025年将达到11亿美元。
近年来，鉴于对传送震动率、粉尘控制的更高需求，第三代半导体如氮化镓（GaN）衬底厂、外延片厂对AMHS的需求旺盛。而随着先进封装的发展，先进封装厂大幅提升自动化水平，对AMHS的需求正在快速增长中。
“公司已形成覆盖传送、存储、净化设备及智能调度软件的完整自主技术体系，已连续多年稳居国内半导体AHMS市场第一。”缪峰透露，凭借“硬件+软件+服务”的一体化交付能力，弥费科技的AMHS系统在价格、安全、服务、满足新需求及后期运维市场等多个方面，都具有显著的优势；叠加净化设备等的配套服务能力，弥费科技在国内外都迎来较好的成长机遇，预计今年、明年都有较快速的增长。
（文章来源：上海证券报）
