上证报中国证券网讯（记者李兴彩）先导基电10月29日晚间披露三季报。前三季度，公司实现营业收入17.82亿元，同比增长66.76%；其中，第三季度实现营业收入6.35亿元，同比增长71.87%，维持快速增长态势。剔除股份支付费用影响后，公司前三季度归母净利润为1.196亿元。
半导体装备突破不断凯世通商业化提速
作为公司核心主业板块，旗下凯世通半导体离子注入机业务在报告期内持续取得商业化突破。前三季度，凯世通与8家客户新签订单，新增离子注入机设备订单近30台。
自2020年至今，凯世通累计服务客户19家，累计交付离子注入机超90台，产品的市场认可度与产业化落地节奏持续提升。
今年第三季度，凯世通完成应用于先进制程的中束流离子注入机开发。该产品主要面向先进逻辑和存储工艺节点，具备优异的束流稳定性和剂量均匀性控制能力，可满足先进制程工艺对注入精度与重复性的严苛要求。
在先进工艺大束流设备方面，凯世通推出Hyperion低能大束流离子注入机，面向12英寸主流工艺段，重点攻克低能超浅结注入、束流角度均匀性、颗粒污染与热损伤等技术难题。目前，该产品正在国内头部12英寸逻辑、存储晶圆客户产线加速应用。
此外，iKing 360中束流离子注入机支持氢离子注入剥离（SmartCut）工艺，可满足薄膜铌酸锂等异质集成材料的制备要求，已于6月份交付国内光电芯片客户产线。随着AI算力需求推动数据中心光互连向更高速率演进，薄膜铌酸锂光子芯片及异质集成技术加快规模化应用，上游关键装备国产化需求随之增长。
平台化战略纵深推进拓宽成长边界
先导基电表示，今年以来，公司围绕平台化战略持续完善产业链布局，横向拓展业务边界。一是增资控股广东先导微电子科技有限公司，正式向高端半导体材料领域延伸，布局半导体前驱体材料、电子特气、电子级高纯金属、化合物半导体衬底等核心材料品类，构建“半导体装备+核心材料”的协同发展格局。二是与关联方共同投资设立控股子公司元朔基电，布局固态燃料电池（SOFC）核心部件等业务，切入数据中心的电力需求场景，培育新的业务增长点。
先导微电子依托上游高纯金属资源与提纯能力，持续推进产品量产与客户导入。其中，四氯化铪主要应用于存储及逻辑芯片高介电常数（High-K）介质层制备，公司是国内少数能够实现6N级四氯化铪稳定量产和规模化供货的企业，相关产品已进入全球头部晶圆厂供应链。另一款产品二氯二氧化钼面向300层以上超高堆叠3D NAND的下一代金属布线方案，有望替代传统六氟化钨材料，已进入国内外领先3D NAND客户供应链。
电子特气方面，先导微电子产品覆盖锗烷、磷烷、乙硼烷、砷烷，主要应用于外延掺杂和离子注入掺杂等场景。先导微电子与凯世通的客户资源高度协同，可围绕晶圆厂需求开展多品类材料、装备与工艺的联合验证，缩短产品导入周期，进一步增强客户黏性。
（文章来源：上海证券报·中国证券网）
