截至2026年6月17日13:28，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨4.96%，成分股盛美上海上涨16.88%，艾森股份上涨12.99%，中巨芯上涨9.40%，拓荆科技，沪硅产业等个股跟涨。半导体设备ETF万家(159327)上涨4.84%，冲击3连涨。拉长时间看，截至2026年6月16日，半导体设备ETF万家近1周累计上涨10.29%。
Bernstein于5月底发布的中国WFE竞争格局报告显示，2025年中国半导体设备整体自给率从2024年的16%提升至21%，提升幅度达5个百分点，是自2019年以来年度提升最快的一年。刻蚀、薄膜沉积、掺杂、过程控制等核心环节集体突破，国产替代逻辑正从“政策驱动”走向“技术成熟+商业竞争力”的双轮驱动。
中原证券认为，全球半导体行业仍处于上行周期，AI是核心驱动力。2026年4月全球半导体销售额同比激增93.9%，WSTS预测全年销售额将达1.511万亿美元，同比增长近90%。下游结构性分化明显，AI算力基础设施需求持续旺盛，北美四大云厂商Q1资本支出同比增81%，国内三大互联网厂商亦同比增长18%。设备端，SEMI预计2026年全球300mm晶圆厂设备支出将增长18%至1330亿美元，中国虽Q1设备销售额增速放缓至7%，但先进封装技术如2.5D/3D集成、Chiplet等因“韬定律”逻辑折叠架构兴起，将成为性能提升关键，带动相关设备需求快速增长。
华源证券提到，长江存储与长鑫科技资本市场进程加速，有望强力催化自主可控板块。长鑫科技已获证监会注册生效，2026年一季度营收达508亿元（同比+719%），净利润330亿元；预计上半年营收将达1100-1200亿元，净利润660-750亿元。同期，长江存储完成IPO辅导备案。两大存储龙头推进上市，将带动上游设备、材料、零部件及EDA等关键环节快速增长，尤其利好半导体扩产链条相关企业。
数据显示，截至2026年5月29日，中证半导体材料设备主题指数(931743)前十大权重股分别为中微公司、北方华创、拓荆科技、长川科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、江丰电子、芯源微、华峰测控，前十大权重股合计占比65.37%。
费率方面，半导体设备ETF万家管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。
跟踪精度方面，截至2026年6月16日，半导体设备ETF万家近1月跟踪误差为0.045%，在可比基金中跟踪精度较高。
万家中证半导体材料设备主题ETF(场内简称半导体设备ETF万家，159327)紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，具有高成长、高弹性的特征。场外投资者可通过万家中证半导体材料设备主题ETF发起式联接(A：023828；C：023829)把握投资机会。
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