科创半导体设备ETF鹏华(589020)涨超4.6%，特种气体、钻针等概念盘中活跃

钻针概念盘中活跃，消息面上，随着1.6T光模块导入mSAP工艺，对上游钻针、铜箔以及加工设备方向继续加强。

开源证券指出，受益于AI大模型催生的算力需求爆发，AI细分赛道迎来高景气：（1）光模块设备：800G、1.6T高速率产品需求持续放量，CPO新技术不断演进，海内外云计算厂商备货力度加大，行业量价齐升趋势明确；（2）PCB设备：高多层板、HDI板、高频高速板紧缺格局延续，上游电子布、高端基材、钻针耗材及对应M9升级的新技术陆续同步受益。

截至2026年6月11日 14:08，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨4.57%，成分股中巨芯上涨20.00%，耐科装备上涨20.00%，和林微纳上涨20.00%，兴福电子，欧莱新材等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨4.68%， 冲击3连涨。最新价报2.19元。

科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2026年5月29日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、华海清科、中微公司、沪硅产业、中科飞测、芯源微、华峰测控、安集科技、天岳先进、中船特气，前十大权重股合计占比72.71%。

（文章来源：界面新闻）