科创半导体设备ETF鹏华涨近4.5%，工业气体+硅片领涨市场

A股半导体产业链盘初上扬，工业气体方向领涨，中船特气涨超15%，续创历史新高，总市值突破1100亿，消息面上，海关出口数据显示，今年4月，国内六氟化钨出口均价达到149.79美元/千克，较1月出口均价上涨117.9%，并且4月出口量环比、同比均出现不同程度增长。此外，SK海力士计划五年内将晶圆产能翻番，以应对全球人工智能基础设施建设带来的内存芯片持续短缺。

招商证券指出，随着长江存储推进270层3D NAND量产、长鑫存储DDR5/LPDDR5规模化放量，国内存储产能持续爬坡将显著拉动PECVD、ALD及沟槽填充类设备需求。同时，逻辑芯片向3D堆叠演进亦带动设备用量增长，本土龙头在手订单饱满、新品验证顺利，有望深度参与本轮国产化扩产周期。

截至2026年6月4日 10:01，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨3.78%，成分股中船特气上涨20.00%，中巨芯上涨10.98%，华峰测控上涨8.69%，艾森股份，兴福电子等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨3.67%， 冲击3连涨。最新价报2.01元。

科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2026年5月29日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、华海清科、中微公司、沪硅产业、中科飞测、芯源微、华峰测控、安集科技、天岳先进、中船特气，前十大权重股合计占比72.71%。