截至2026年5月19日 14:35，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨4.48%，成分股沪硅产业上涨20.00%，立昂微上涨10.01%，中科飞测上涨8.44%，中微公司，有研硅等个股跟涨。半导体设备ETF华夏(562590)上涨4.41%， 冲击3连涨。最新价报2.65元。拉长时间看，截至2026年5月18日，半导体设备ETF华夏近1周累计上涨9.44%。
流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手率13.31%，成交额4.36亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至5月18日，半导体设备ETF华夏近1周日均成交额3.68亿元。
规模方面，半导体设备ETF华夏最新规模达31.99亿元。（数据来源：Wind）
截至5月18日，半导体设备ETF华夏近6月净值上涨65.75%。
跟踪精度方面，截至2026年5月18日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.013%，在可比基金中跟踪精度最高。
半导体设备ETF华夏(562590)，场外联接(华夏半导体材料设备ETF联接A：020356；华夏半导体材料设备ETF联接C：020357)。
（文章来源：界面新闻）
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原标题：涨超4.4%，半导体设备ETF华夏(562590)冲击3连涨
