证券日报网讯 4月10日，盛美上海在互动平台回答投资者提问时表示，臭氧清洗是面向先进制程的清洗技术发展方向之一，具有环保、高效、低损伤等优势，并已在多个关键环节实现应用，目前已成为行业共识，并且第三方市场研究机构明确指出了这一趋势。
（文章来源：证券日报）
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原标题：盛美上海：臭氧清洗是面向先进制程的清洗技术发展方向之一
证券日报网讯 4月10日，盛美上海在互动平台回答投资者提问时表示，臭氧清洗是面向先进制程的清洗技术发展方向之一，具有环保、高效、低损伤等优势，并已在多个关键环节实现应用，目前已成为行业共识，并且第三方市场研究机构明确指出了这一趋势。
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