至纯科技：前三季度营业收入23.67亿元研发投入1.66亿元

中证报中证网讯（王珞）10月30日晚间，至纯科技发布了2025年第三季度报告。报告显示，前三季度，公司实现营业收入23.67亿元，归属于上市公司股东的净利润为8469.67万元。2025年第三季度单季净利润4537.80万元，环比增长56.09%。公司现金流有所改善，第三季度，公司实现经营活动现金流量净额6030.63万元，较上半年-5.63亿元的状况显著改善并转为正向流入，表明公司主营业务造血能力得到实质性增强。

公司表示，坚持面向未来进行战略性投入，前三季度研发费用投入1.66亿元，同比保持稳定增长。持续的创新投入成果丰硕，截至上半年，公司累计申请专利达865件，并成功获得首件美国专利授权，标志着技术实力获得国际认可。

公司的湿法工艺设备、高纯工艺系统等核心产品在国内主流晶圆厂持续放量，面对全球半导体产业的战略机遇期，至纯科技围绕“工艺-设备-材料”三位一体发展战略，不仅提供装备与系统，更向产业链上下游延伸，构建了覆盖晶圆厂全生命周期的产品与服务能力。