上交所官网显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称“恒运昌”）科创板IPO于6月13日获得受理。
据了解，恒运昌主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。
本次冲击上市，恒运昌拟募集资金约15.5亿元，扣除发行费用后的净额拟全部用于沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目、补充流动资金。
（文章来源：北京商报）
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原标题：恒运昌科创板IPO获受理
